美国AP CO2 Fogger气流流形测试仪

二氧化碳雾化发生器是使用DI水和干冰结合的方式通过产生6CFM浓度的气雾实现气流可视化的效果。二氧化碳雾化发生器的优点是雾化成像效果好，在美国药典的797章节的指引，适用于制药行业的现场气流流向的测量。

• 商品编号：美国AP CO2 Fogger气流流形测试仪
• 货　　号：美国AP CO2 Fogger气流流形测试仪
• 品　　牌：美国AP公司(应用物理公司（AP™）电话联系720-635-3931，自1992年以来美国应用物理公司业务一直专注于溶胶检测方面，如，MOUDI级和Nano-MOUDI级气溶胶撞击试验，在大学和政府实验室。在半导体晶圆厂和制药实验室，洁净室喷雾器和去离子水喷雾器提供可视化气流和空气湍流。 “不扩散核武器条约”中2300型2的PSL和粒子沉积系统和半导体设备制造商KLA-Tencor所使用的SP1，SP2和SPX晶圆检测系统的的大小响应曲线的校准，技术都来源于应用物理公司（AP），拓普康，日立和ADE扫描表面检测系统， 2300“不扩散核武器条约”-2E边缘沉积工具，存款硅，二氧化硅，氧化铝，二氧化钛，氮化硅，钛，W，铜和钽颗粒在硅的晶片边缘伞校准鲁道夫都是源于美国AP公司，KLA-Tencor和Raytex的边缘检测工具。计量管理者可以从边缘处减少晶片的污染，在硅晶片上的器件芯片检测粒子迁移的颗粒污染。 2300 NPT-2W WET粒子沉积工具接合生产工艺 检测晶片表面上的颗粒与各种湿液体。)

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产品应用

•  洁净室层流气流流型测试

•  气流平衡性测试

•  半导体工作台排气优化测试

•  运行设备的排气测试

•  有氧安全服的排气测试

•  空间房间的压力平衡性测试

原理及使用

雾化发生器的用于洁净室的层流或紊流和风速可视化测试。该设备通过把1磅（0.45kg）

的干冰放置于加热的DI水水仓中产生二氧化碳气雾。二氧化碳雾化发生器不是一款随时启停

的设备。一旦雾化过程开始，设备会持续地发生气雾，初始浓度为3CFM，随后逐渐降低，直

到干冰被消耗为止。在雾化过程中，设备可以断电操作。用户可以自行选配延长管配件以达

到不同的雾化可视效果，如左侧的直喷式雾化延长管或者右侧的瀑布式延长杆。用户可以通

过旋转延长杆顶端在不同的可视化效果之间切换。