Pentagon QIII Ultra surface particle count价格|型号 _国产激光粒子计数器原理


Pentagon QIII Ultra surface particle count

五角大楼技术公司的QIII系列表面颗粒检测(SPD)仪器是测量和控制表面颗粒污染的行业标准 – 它变得更好。新的QIII Ultra SPD包括我们领先的表面测量技术,分辨率低至0.1微米,并在当今关键的清洁环境中使用了许多增强功能。

  • 商品编号:Pentagon QIII Ultra surface particle count
  • 货  号:Pentagon QIII Ultra surface particle count
  • 品  牌:Pentagon Technologies(提高生产力。Pentagon技术有限公司是为半导体,制药,微电子和太阳能行业提供关键任务制造支持服务,污染检测和保护产品的领先供应商。Pentagon的专有服务和产品提高了高科技制造中使用的复杂制造设备的利用率,效率和生命周期。Pentagon与其客户保持着一体化和积极的合作伙伴关系,通常包括现场支持,以及合作开发节省成本和提高产量的解决方案。关于Pentagon技术Pentagon的一系列服务,零件和产品在业界无与伦比,包括:商会服务 – Pentagon是制造过程前端晶圆级制造设备的清洁,涂层和翻新服务和替代零件的北美市场领导者。技术现场服务 – Pentagon监控,认证并改善晶圆厂及其工艺工具的清洁度。其服务包括洁净室协议和认证,协议监控,持续清洁,工具验收,设备前端模块(EFEM)认证,NEBB认证以及整个工厂生命周期内的其他服务。粒子检测和保护产品 – Pentagon提供广泛的专有表面颗粒检测产品,可确定关键表面和颗粒保护产品的清洁度,从而提高关键生产区域的清洁度,从而减少工具停机时间,提高产量并节省客户的时间和金钱。)
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随着高科技行业转向更低和更低的几何形状以生产更快,更高分辨率和更复杂的产品,控制0.1微米范围内的表面颗粒水平对产量和过程控制至关重要。

优点

每次都可预测,第一次恢复工具。

将恢复时间缩短25-50%

将粒子加法器减少50%+

减少调味和测试晶圆

减少泵清洗循环

将MTBC提高4倍或更多

将工具可用性提高10%+

减少PM循环时间

减少故障排除事件

ISO-14644-9表面颗粒顺应性

新QIII Ultra SPD包括

分辨率为0.1微米,采用HeNe激光光学系统

新的静态采样模式可提高测量精度。

全新7英寸高分辨率WVGA屏幕,清晰,清晰的图像和文字。

新型探头多连接器,便于连接和更换所提供的各种探头。

两个用户可更换的电池,可以“热插拔”而无需关闭设备,从而在电池模式下无限制地运行时间。

现在可以通过USB端口轻松下载收集的数据。

最终用户可以通过USB端口直接上传软件升级。

现在有6个粒子数据通道可以增强粒子分布的可见性。

附加说明:表面粒子计数器或表面粒子嗅探器